Краткое введение в MEMS-гироскоп

Принцип работы микромеханического гироскопа
Основной принцип гироскопов MEMS заключается в использовании нанокристаллических гироскопов (сердцевина MEMS слева) в системах MEMS для обнаружения, измерения и интерпретации изменений углового ускорения и угловой скорости. Характеристики кристаллического гироскопа МЭМС будут колебаться при изменении внешней угловой скорости. Ротор нанокристаллического гироскопа в МЭМС-гироскопе будет производить механическую вибрацию с изменением внешнего углового ускорения и угловой скорости. МЭМС-гироскоп — это микромеханический датчик угловой скорости, основанный на технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Это быстрый, точный и компактный датчик, который можно использовать для измерения и определения изменений углового ускорения и угловой скорости.https://www.ericcointernational.com/gyroscope/mems-gyroscope](https://www.ericcointernational.com/gyroscope/mems-gyroscope)

Обычные механические гироскопы в основном используют принцип сохранения момента количества движения, то есть для вращающегося объекта его ось вращения не меняется при вращении несущего его кронштейна. МЭМС-гироскоп в основном использует принцип силы Кориолиса (тангенциальная сила вращающегося объекта, когда он совершает радиальное движение). Раскрытый микромеханический гироскоп использует концепцию угловой скорости вибрирующего объекта и использует вибрацию для возбуждения и обнаружения. Сила Кориолиса.
https://www.ericcointernational.com/gyroscope/mems-gyroscope](https://www.ericcointernational.com/gyroscope/mems-gyroscope)
В основе МЭМС-гироскопа лежит микромеханический механический блок, который предназначен для резонирования в соответствии с камертонным механизмом для преобразования угловой скорости в смещение определенной чувствительной структуры с использованием принципа силы Кориолиса. На примере одноосного гироскопа со смещением (рыскание, YAW) с помощью Tuli исследуется простейший принцип работы.

Две одинаковые массы колеблются горизонтально в противоположных направлениях, как указано горизонтальной стрелкой. Когда угловая скорость прикладывается извне, возникает сила Кориолиса, направление силы перпендикулярно направлению движения массы, как указано вертикальной стрелкой. Результирующая сила Кориолиса смещает чувствительную массу, что пропорционально величине приложенной угловой скорости. Поскольку подвижный электрод (ротор) чувствительной части датчика расположен со стороны неподвижного электрода (статора), вышеуказанное смещение приведет к изменению емкости между статором и ротором и, следовательно, приложенной угловой скорости. на входной части гироскопа преобразуется в специальную схему для определения электронного параметра — емкости.

Параметр производительности

Важные параметры МЭМС-гироскопа включают в себя: разрешение, выходную нулевую угловую скорость (нулевой выходной сигнал), чувствительность и диапазон измерения. Эти параметры являются важными показателями для оценки производительности MEMS-гироскопов, а также определяют среду применения гироскопов.
Разрешение — это минимальная угловая скорость, которую может обнаружить гироскоп, и этот параметр, а также выходной сигнал нулевой угловой скорости фактически определяются белым шумом гироскопа. Эти три параметра в основном объясняют внутренние характеристики и помехоустойчивость гироскопа. Для пользователя чувствительность имеет более практическое значение при выборе. Диапазон измерения относится к максимальной угловой скорости, которую может измерить гироскоп. Различные приложения предъявляют разные требования к различным показателям производительности гироскопов. В качестве высокопроизводительного гироскопического датчика MEMS выделяется ER-MG2-50/100 с нестабильностью смещения 0,01-0,02°/час и угловым случайным блужданием 0,0025-0,005°/√час. от конкурентов на рынке гироскопов с высокой точностью выходной угловой скорости и чувствительности и специально разработан для поиска севера, наведения, первоначального выравнивания в каротажных инструментах/гироскопических инструментах, горнодобывающем/буровом оборудовании, системах запуска оружия/БПЛА, спутниковой антенне, цели система отслеживания и так далее.

Если вы хотите получить более подробную информацию о MEMS-гироскопе, посетите https://www.ericcointernational.com/gyroscope/mems-gyroscope](https://www.ericcointernational.com/gyroscope/mems-gyroscope)