Какова основа MEMS-гироскопа?

Технология MEMS-гироскопа была впервые предложена Ричардом Пфейнманом (лауреатом Нобелевской премии по физике в 1965 году) в 1959 году. В 1962 году появился кремниевый микродатчик давления.
Ройланс и Энджелл начали разработку пьезорезистивных микроакселерометров в 1979 году. В 1991 году Коул начал разработку емкостных микроакселерометров.
И акселерометры, и гироскопы называются инерционными датчиками. Гироскоп MEMS может существовать в IMU (инерциальном измерительном блоке), INS (инерциальной навигационной системе) и AHRS (системе отсчета курса). IMU в основном состоит из 3 акселерометров MEMS и 3 гироскопов MEMS. AHRS представляет собой IMU с тремя магнитными датчиками. Путем расчета на основе метода кватернионов можно напрямую вывести угол тангажа, угол крена и угол курса движущегося тела.
Этот МЭМС-гироскоп имеет нестабильность смещения 0,01-0,02°/час и угловое случайное блуждание 0,0025-0,005°/√час. Размер всего 11 х 11 х 2 мм. Он может применяться в следующих областях:
Поиск севера в каротажных инструментах/гироскопических инструментах;
Наведение, управление и управление современным горнодобывающим/буровым оборудованием;
Прецизионные измерения и средства контроля положения платформы;
Прецизионное измерение ориентации и положения в навигационном классе MEMS IMU/INS;
Поиск и позиционирование севера в системе геодезии/наземного мобильного картографирования.
В 1998 году компания CSDL из США спроектировала и разработала самый первый MEMS-гироскоп. В том же году Drapor Labs разработала еще одну форму MEMS-гироскопа. Его основной принцип заключается в использовании эффекта Кориолиса, возникающего, когда основание приводит в движение вибрирующее тело, чтобы определить угловую скорость.
Как продукт потребительского уровня, высокоточный MEMS-гироскоп в основном используется в портативных устройствах, таких как мобильные телефоны, игровые консоли, музыкальные плееры, беспроводные мыши, цифровые камеры, умные игрушки, GPS-навигация и т. д.
Как продукт промышленного уровня и автомобильный продукт, он в основном используется в автомобильных электронных системах стабилизации (ESP или ESC), навигационных системах с поддержкой GPS, автомобильных подушках безопасности, измерениях ориентации транспортных средств, промышленной автоматизации, крупном медицинском оборудовании, роботах и т. д. МЭМС-гироскопы в эти поля имеют среднюю точность. В то же время гироскоп MEMS также можно использовать в гироскопических инструментах и инструментах для каротажа нефти, газа и бурения, чтобы помочь в поиске и позиционировании на север. Высокоточные гироскопы MEMS используются в военной и аэрокосмической областях, а также могут использоваться для приложений, обеспечивающих стабильность, таких как спутниковая беспроводная связь, системы наведения ракет и системы оптического прицеливания; управление полетом самолета/ракеты, ориентация, демпфирование рыскания и другие приложения управления.
Прочитайте ссылку.

Свяжитесь со мной:
Электронная почта: [email protected]
WhatsApp: +86 173 9198 8506